[发明专利]基于转印技术的微纳薄膜压力传感器及其制备方法无效
| 申请号： | 201110380360.5 | 申请日： | 2011-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN102494832A | 公开（公告）日： | 2012-06-13 |
| 发明（设计）人： | 李策;杨邦朝;陈信琦 | 申请（专利权）人： | 李策;杨邦朝;陈信琦 |
| 主分类号： | G01L9/04 | 分类号： | G01L9/04 |
| 代理公司： | 北京万象新悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11360 | 代理人： | 贾晓玲 |
| 地址： | 150001 黑龙江省哈尔*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于转印技术制作的微纳薄膜压力传感器及其制备方法。该传感器包括传感组件、转接环、管座、管帽、内引线、紧固件、密封圈、输出电缆以及引压口；其中传感组件包括器件衬底、金属电极、压敏电阻和转印介质。本发明的传感器由于在器件衬底上增加了转印介质，从而减少了蠕变并增强了隔离特性，该发明中所使用的转印介质的性能及形状保证能良好地传递应力而不引起规定误差外的损耗，更由于该种转印技术与常规微电子技术相容，因而仍能像硅基压力传感器一样大批量生产并保持廉价及高可靠性能，同时也具有薄膜材料可以制作于不同衬底上达到小型化、抗恶劣环境的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 技术 薄膜 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种微纳薄膜压力传感器，所述传感器包括传感组件(1)、转接环(2)、管座(3)、管帽(4)、内引线(5)、紧固件(6)、密封圈(7)、输出电缆(8)以及引压口(9)，所述传感组件(1)包括器件衬底(16)以及倒扣在其上表面上的单个芯片，其特征在于，所述单个芯片进一步包括：压敏电阻(14)；形成在压敏电阻(14)的两端的金属电极(13)；以及涂覆在所述压敏电阻(14)及金属电极(13)的晶圆上的转印介质(15)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于李策;杨邦朝;陈信琦，未经李策;杨邦朝;陈信琦许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110380360.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种食用健康活性炭的制备方法
- 下一篇：副猪嗜血杆菌三价灭活疫苗的生产方法
