[发明专利]采用毛细管放电极紫外光刻光源产生EUV辐射光的方法无效
| 申请号： | 201110385541.7 | 申请日： | 2011-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN102496551A | 公开（公告）日： | 2012-06-13 |
| 发明（设计）人： | 赵永蓬;徐强;王骐 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | H01J17/20 | 分类号： | H01J17/20;H01J17/04;G03F7/20 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 牟永林 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 采用毛细管放电极紫外光刻光源产生EUV辐射光的方法，属于极紫外光刻光源技术领域。它解决了毛细管在EUV光刻光源中，产生的放电碎屑过多易损坏后续的光学收集系统的问题。本发明产生EUV辐射光的方法为，分别通过输气管路同时向毛细管中输入Xe气和Ar气，所述Xe气的流量为0.2sccm～2sccm，Ar气的流量为0.2sccm～10sccm，然后在毛细管两端加载高压脉冲电源，实现13.5nm波长的辐射光输出。本发明适用于产生EUV辐射光。 | ||
| 搜索关键词： | 采用 毛细管 电极 紫外 光刻 光源 产生 euv 辐射 方法 | ||
【主权项】：
一种采用毛细管放电极紫外光刻光源产生EUV辐射光的方法，其特征在于：分别通过输气管路同时向毛细管中输入Xe气和Ar气，所述Xe气的流量为0.2sccm～2sccm，Ar气的流量为0.2sccm～10sccm，然后在毛细管两端加载高压脉冲电源，实现13.5nm波长的辐射光输出。
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