[发明专利]扫描电子显微镜的可旋转固定器的精度监控方法有效
| 申请号： | 201110386089.6 | 申请日： | 2011-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN102519994A | 公开（公告）日： | 2012-06-27 |
| 发明（设计）人： | 倪棋梁;陈宏璘;龙吟;郭明升 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/22 | 分类号： | G01N23/22 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 黄艳;郑特强 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种扫描电子显微镜的可旋转固定器的精度监控方法，其包括以下步骤：提供表面上带有角刻度的标准件；将该标准件放置到该可旋转固定器的支撑面上，使电子枪对准该标准件上的第一角位置：在扫描电子显微镜中输入一预定角度，以使可旋转固定器旋转该预定角度，此时，该电子枪对准该标准件上的第二角位置，并通过扫描获得该第二角位置和该第一角位置之间的角度差；将该角度差与该预定角度进行比较，得到可旋转固定器的角度误差值。通过本发明可快速方便的检测和确定晶圆固定器和电子枪在360度的平面空间范围内的相对位置精度。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 电子显微镜 旋转 固定器 精度 监控 方法 | ||
【主权项】：
一种扫描电子显微镜的可旋转固定器的精度监控方法，其包括以下步骤：步骤一：提供表面上带有角刻度的标准件；步骤二：将该标准件放置到该可旋转固定器的支撑面上，使电子枪对准该标准件上的第一角位置；步骤三：在扫描电子显微镜中输入一预定角度，以使可旋转固定器旋转该预定角度，此时，该电子枪对准该标准件上的第二角位置，并通过扫描获得该第二角位置和该第一角位置之间的角度差；步骤四：将该角度差与该预定角度进行比较，得到可旋转固定器的角度误差值。
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