[发明专利]一种太阳能电池扩散源三氯氧磷的恒温装置有效
申请号: | 201110386769.8 | 申请日: | 2011-11-29 |
公开(公告)号: | CN102392307A | 公开(公告)日: | 2012-03-28 |
发明(设计)人: | 毛朝斌;贾京英;吕文利;谢建国 | 申请(专利权)人: | 湖南红太阳光电科技有限公司 |
主分类号: | C30B31/16 | 分类号: | C30B31/16 |
代理公司: | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人: | 马强 |
地址: | 410111 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明涉及一种太阳能电池扩散源三氯氧磷(POCl3)的无水干式恒温装置,恒温装置还包括源盒、基座、控制盒和电源盒,源盒放置在基座上并在源盒顶部加装源盒盖,所述石英源瓶置于源盒内,石英源瓶内设温度传感器,且温度传感器与补偿导线一端相连而补偿导线另一端接至控制盒;所述基座从上到下依次包括传热铝块、帕尔贴组和散热装置。本发明所述太阳能电池扩散源三氯氧磷(POCl3)的恒温装置通过通讯模块可以与控制中心进行数据交换,方便控制中心对恒温装置的实时监控,实现扩散源三氯氧磷(POCl3)的无水干式恒温。 | ||
搜索关键词: | 一种 太阳能电池 扩散 源三氯氧磷 恒温 装置 | ||
【主权项】:
一种太阳能电池扩散源三氯氧磷的恒温装置,包括石英源瓶(3),且石英源瓶(3)上设有石英源瓶接口(17),其特征是,所述恒温装置还包括源盒(2)、基座(1)、控制盒(6)和电源盒(12),源盒(2)放置在基座(1)上并在源盒(2)顶部加装源盒盖(4),所述石英源瓶(3)置于源盒(2)内,石英源瓶(3)内设温度传感器(5),且温度传感器(5)与补偿导线(7)一端相连而补偿导线(7)另一端接至控制盒(6);所述基座(1)从上到下依次包括传热铝块(11)、帕尔贴组(20)和散热装置(9)。
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