[发明专利]一种微电极阵列的侧壁绝缘方法无效
| 申请号： | 201110386810.1 | 申请日： | 2011-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN102409385A | 公开（公告）日： | 2012-04-11 |
| 发明（设计）人： | 汪红;吴静;丁桂甫;赵小林;黄奕 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | C25D13/12 | 分类号： | C25D13/12;C25D13/06;C09D5/44 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 郭国中 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种微细加工技术领域的微电极阵列的侧壁绝缘方法，步骤包括：1)将经过清洗的电极阵列与导电装置分别作为阴极板和阳极板(或阳极板和阴极板)，连接到电泳仪器的负极和正极(或正极和负极)，构成回路；2)将与导电装置连接好的电极阵列放入电泳镀膜溶液中；3)打开电源开始电泳镀膜；4)完成后，关闭电源，将电极阵列取出，并用去离子水超声清洗电极阵列，去除悬浮涂料；5)洗干净的电极阵列，进行烘干处理；6)经烘干的电极阵列中填充石蜡，然后利用机械方法进行磨削，以去掉电极端面的绝缘薄膜。本发明可用于多种形状，高精度的微细电化学加工用的微电极阵列的侧壁绝缘，工艺成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微电极 阵列 侧壁 绝缘 方法 | ||
【主权项】：
一种微电极阵列的侧壁绝缘方法，其特征在于包括以下步骤：1)将经过清洗的电极阵列与导电装置分别作为阴极板和阳极板，或分别作为阳极板和阴极板，连接到电泳仪器的负极和正极，或连接到正极和负极，构成回路；2)将接好的电极阵列放入电泳镀膜溶液中；3)打开电源开始电泳镀膜；4)镀膜完成后，关闭电源，将电极阵列取出，并用去离子水超声清洗电极阵列，去除悬浮涂料；5)将洗干净的电极阵列，进行烘干处理；6)将已经烘干的电极阵列中填充石蜡，然后利用机械方法进行磨削，以去掉电极端面的绝缘薄膜。
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