[发明专利]一种流速测量装置无效
| 申请号： | 201110387196.0 | 申请日： | 2011-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN103134944A | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | 童宇波;孙东丰 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | G01P5/00 | 分类号： | G01P5/00;G01F23/30 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 白振宇 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体设备领域，具体地说是一种利用光纤传感器检测液体流速的流速测量装置，适用于精准控制液体流速的设备，尤其适用半导体制程中化学药剂的精确供应，包括浮子流量计，所述浮子流量计相对应的两侧分别安装有光纤传感器，所述两侧的光纤传感器分别与控制系统电连接；液体由所述浮子流量计的进液端口进入玻璃管内，由出液端口流出，所述玻璃管中的浮子通过上下两端产生差压形成的上升力向上浮动至光纤传感器的安装位置，阻挡两侧的光纤传感器的信号，所述信号送至控制系统。本发明利用光纤传感器照射浮子流量计中的浮子，通过检测浮子在浮子流量计中的上下位置，达到控制化学药剂流量的目的，结构简单，控制方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 流速 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种流速测量装置，包括浮子流量计，其特征在于：所述浮子流量计(1)相对应的两侧分别安装有光纤传感器(7)，所述两侧的光纤传感器(7)分别与控制系统电连接；液体由所述浮子流量计(1)的进液端口(10)进入玻璃管(8)内，由出液端口(11)流出，所述玻璃管(8)中的浮子(6)通过上下两端产生差压形成的上升力向上浮动至光纤传感器(7)的安装位置，阻挡两侧的光纤传感器(7)的信号，所述信号送至控制系统。
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