[发明专利]具有精密功率检测器的射频电源

摘要

本发明公开了一种具有精密功率检测器的射频电源，包括射频信号发生器、射频功率放大电路、供电线路和精密功率检测器，精密功率检测器包括电压互感器、电流互感器、精密检波模块和集成有模数转换器和微处理单元的微控制器，电压互感器和电流互感器分别与精密检波模块相连，精密检波模块包括加法电路、减法电路、整流电路和滤波放大电路，加法电路和减法电路分别与整流电路相连，整流电路连接滤波放大电路，滤波放大电路与集成有模数转换器和微处理单元的微控制器相连。本发明能够实现高精度的射频功率检测，检测范围宽，精度一致性好，死区小。

主权项

一种具有精密功率检测器的射频电源，所述射频电源包括射频信号发生器、射频功率放大电路、供电线路和精密功率检测器，其特征在于：所述精密功率检测器包括电压互感器、电流互感器、精密检波模块和集成有模数转换器和微处理单元的微控制器，所述电压互感器和所述电流互感器分别与所述精密检波模块相连，所述精密检波模块包括加法电路、减法电路、整流电路和滤波放大电路，所述加法电路将来自所述电压互感器和所述电流互感器的信号进行加法运算，所述减法电路将来自所述电压互感器和所述电流互感器的信号进行减法运算，所述加法电路和所述减法电路分别与所述整流电路相连，所述整流电路连接所述滤波放大电路，所述滤波放大电路与所述微控制器相连。