[发明专利]石墨烯电子器件有效

专利信息
申请号: 201110389294.8 申请日: 2011-11-30
公开(公告)号: CN102479804A 公开(公告)日: 2012-05-30
发明(设计)人: 许镇盛;徐顺爱;李晟熏;郑现钟;梁喜准 申请(专利权)人: 三星电子株式会社
主分类号: H01L29/10 分类号: H01L29/10;H01L29/78
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 张波
地址: 韩国*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要: 发明公开一种石墨烯电子器件。该石墨烯电子器件包括:栅电极;设置在栅电极上的栅氧化物;形成在栅氧化物上的石墨烯沟道层;以及分别设置在石墨烯沟道层的两端上的源电极和漏电极。在石墨烯沟道层中,多个纳米孔沿石墨烯沟道层的宽度方向布置成单一行。
搜索关键词: 石墨 电子器件
【主权项】:
一种石墨烯电子器件,包括:栅电极;在所述栅电极上的栅绝缘层;在所述栅绝缘层上的石墨烯沟道层,所述石墨烯沟道层包括多个纳米孔;以及在所述石墨烯沟道层上的源电极和漏电极。
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