[发明专利]一种扫描抑制电极的装置无效
| 申请号： | 201110390399.5 | 申请日： | 2011-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN103137401A | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | 林萍 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/04 | 分类号： | H01J37/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市中关村科*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种扫描抑制电极的装置。包括：沉孔(1)、引束出口(2)、石墨电极(3)、通孔(4)、销孔(5)、定位销(6)。该装置特征在于，扫描抑制电极主要是吸附打到抑制电极上的离子，提高了束流的纯度。说明书对装置进行了详细阐述。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描 抑制 电极 装置 | ||
【主权项】：
一种扫描抑制电极的装置。包括：沉孔(1)、引束出口(2)、石墨电极(3)、通孔(4)、销孔(5)、定位销(6)。其特征在于：1.如权利要求1所述的石墨电极(3)的沉孔(1)与电极支撑的通孔(4)固定石墨电极(3)。
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