[发明专利]一种全背电极铝背结太阳电池制作工艺

摘要

本发明属于太阳电池技术领域，具体公开一种全背电极铝背结太阳电池制作工艺，其步骤是：(1)选用n型单晶硅片并对n型单晶硅片制绒；(2)在单晶硅片前后表面制备n+层；(3)制备SiNx减反射薄膜；(4)通过激光开槽选择性刻去SiNx和n+层并去除激光工艺带来的机械损伤；(5)制备银电极和铝电极及银铝焊接点；(6)通过烧结形成铝背结和欧姆接触。该制作工艺流程简单，避免使用光刻和多次的化学腐蚀流程，激光的可控性好，生产速度快，同现有的工艺及设备兼容度高，只需要在现有的生产工艺中引入激光即可进行生产，易于产业化。

主权项

一种全背电极铝背结太阳电池制作工艺，其步骤是：(1)选用n型单晶硅片并对n型单晶硅片制绒；(2)在单晶硅片前后表面制备n+层；(3)制备双面SiNx减反射薄膜；(4)通过激光开槽选择性刻去背面SiNx和n+层并去除激光工艺带来的机械损伤；(5)制备银电极、铝电极及银铝焊接点；(6)通过烧结形成铝背结和欧姆接触。