[发明专利]氧化硅造粒粉的制造方法、氧化硅玻璃坩埚的制造方法有效
申请号: | 201110391254.7 | 申请日: | 2011-11-30 |
公开(公告)号: | CN102583975A | 公开(公告)日: | 2012-07-18 |
发明(设计)人: | 须藤俊明;吉冈拓磨;铃木光一;山崎真介 | 申请(专利权)人: | 日本超精石英株式会社 |
主分类号: | C03B20/00 | 分类号: | C03B20/00;C03C6/02 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 经志强 |
地址: | 日本秋田县秋*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种氧化硅造粒粉的制造方法和氧化硅玻璃坩埚的制造方法,其利用废玻璃来制造具有透明层的氧化硅玻璃坩埚,以及适合于该制造的氧化硅粉。根据本发明,提供一种氧化硅造粒粉的制造方法,其包括下述工序:将在氧化硅玻璃坩埚的制造工序中产生的废玻璃粉碎成平均粒径为100μm以下,形成氧化硅微粉;在氦气环境下对所述氧化硅微粉进行造粒,使其平均粒径达到50μm以上。 | ||
搜索关键词: | 氧化 硅造粒粉 制造 方法 玻璃 坩埚 | ||
【主权项】:
一种氧化硅造粒粉的制造方法,其特征在于包括:将在氧化硅玻璃坩埚的制造工序中产生的废玻璃粉碎成平均粒径为100μm以下,并形成氧化硅微粉,以及在氦气环境下对所述氧化硅微粉进行造粒,使平均粒径达到50μm以上,并制造出氧化硅造粒粉,其中,所述氧化硅造粒粉的平均粒径比所述氧化硅微粉的平均粒径大两倍以上。
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