[发明专利]晶片缺陷的检测方法及系统

摘要

本发明提供一种晶片缺陷的检测方法及系统，基于晶片的缺陷类型快速且准确地判断造成缺陷的原因，从而减少问题设备对产品质量的影响，同时提高生产效率。晶片缺陷的检测方法，用于分别在各检测站中检测并确定晶片上的缺陷的生产机台，包括使缺陷类型分别与各生产机台组相关联的关联步骤、扫描步骤、缺陷判断步骤、组别判断步骤、报警步骤、以及缺陷处理步骤。晶片缺陷的检测系统，用于分别在各检测站中检测并确定晶片上的缺陷的机械手，包括使缺陷类型分别与各装置组相关联的关联单元、扫描单元、缺陷判断单元、组别判断单元、报警单元、以及缺陷处理单元。

主权项

一种晶片缺陷的检测方法，用于分别在各检测站中检测并确定晶片上的缺陷的生产机台，其特征在于，包括：关联步骤，使缺陷类型分别与各生产机台组相关联；扫描步骤，对晶片进行扫描并生成缺陷数据；缺陷判断步骤，基于规定缺陷数据判断各所述晶片是否存在缺陷；组别判断步骤，在所述缺陷判断步骤的判断结果为是的情况下，判断所述缺陷的缺陷类型；报警步骤，根据组别判断步骤的判定结果发出警报；缺陷处理步骤，对报警的生产机台组进行处理。