[发明专利]用于执行老化测试的方法有效
申请号: | 201110392791.3 | 申请日: | 2011-12-01 |
公开(公告)号: | CN102565570A | 公开(公告)日: | 2012-07-11 |
发明(设计)人: | 岛泽幸司;金子正明;本田隆;麦野遥一;西冈义人;野间亚树 | 申请(专利权)人: | TDK株式会社;罗姆股份有限公司 |
主分类号: | G01R31/00 | 分类号: | G01R31/00;G11B5/127 |
代理公司: | 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 | 代理人: | 杨勇;郑建晖 |
地址: | 日本东京都中*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 提供了一种用于对受验对象执行老化测试的方法,其中多个电极被设置在不同高度的位置。该方法包括如下步骤:制备受验对象,其中在所述多个电极中处于较高位置的电极具有较高的表面粗糙度;使多个片式探针分别与所述多个电极接触;以及,通过所述多个片式探针向所述多个电极供应电流。通过实施该方法,所述片式探针可以与所述电极保持稳定接触,因为处于较高位置的电极比处于较低位置的电极具有更高的表面粗糙度Ra。因此,可执行稳定和可靠的老化测试。 | ||
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【主权项】:
一种用于对受验对象执行老化测试的方法,在所述受验对象中多个电极被设置在不同高度的位置处,该方法包括如下步骤:制备一个受验对象,其中在所述多个电极中,处于较高位置的电极具有较高的表面粗糙度;使得多个片式探针分别与所述多个电极接触;以及通过所述多个片式探针向所述多个电极供应电流。
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