[发明专利]基板的品质评价方法及其装置

摘要

本发明提供基板的品质评价方法及其装置，其在ELA工序中，高速并且与目视检查员的品质评价值或最终画质相匹配。一边使成为评价对象的基板在一个方向上连续地移动，一边拍摄向基板从倾斜方向照射光后由于在基板上形成的多晶硅薄膜而产生的一次衍射光所形成的像来取得一次衍射光像，并且拍摄来自基板的正反射光或透射光的光轴附近的散射光的像来取得光轴附近的散射光像，对该取得的一次衍射光像的图像和光轴附近的散射光像的图像进行处理，提取多个特征，使用该提取的多个特征中的至少一个以上的特征，按照事先设定的评价基准，计算在基板上形成的多晶硅薄膜的品质评价值，来评价在基板上形成的多晶硅薄膜的品质。

主权项

一种基板的品质评价装置，其评价在基板上形成的多晶硅薄膜的品质，其特征在于，具备：工作台单元，其放置成为评价对象的基板，并能够在至少一个方向上连续地移动；图像取得单元，其拍摄向放置在该工作台单元上的所述基板从倾斜方向照射光后由于在所述基板上形成的多晶硅薄膜而产生的一次衍射光所形成的像来取得一次衍射光像，并且拍摄来自所述基板的正反射光或透射光的光轴附近的散射光的像来取得光轴附近的散射光像；特征提取单元，其对该图像取得单元所取得的所述一次衍射光像的图像和所述光轴附近的散射光像的图像进行处理，提取多个特征；以及品质评价值计算单元，其使用该特征提取单元提取出的该多个特征中的至少一个以上的特征，按照事先设定的评价基准，计算在该基板上形成的多晶硅薄膜的品质评价值。