[发明专利]一种制备薄膜材料的靶材托无效
| 申请号： | 201110393960.5 | 申请日： | 2011-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN103132035A | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | 杨海刚;秦瑞平;蒋玉荣;李新强;张计才;张基东;宋桂林 | 申请（专利权）人： | 河南师范大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 453007*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明提供一种制备薄膜材料的靶材托，使用该靶材托，可以使一些本来做靶比较困难的材料也能够做成制备薄膜材料的靶材，大大拓宽制备薄膜材料的范围。其特征是当制备熔点较低的薄膜材料、导热性差的陶瓷薄膜材料时，将靶材放在靶材托的凹槽里，可以达到较好的镀膜效果。该靶材托在磁控溅射镀膜科研和生产领域具有很大的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 薄膜 材料 靶材托 | ||
【主权项】：
本发明涉及一种制备薄膜材料的靶材托，该靶材托所采用的材质为导电和导热性能较好的金属铜，或不锈钢材料。
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