[发明专利]一种长换液周期和低浓度腐蚀的制绒方法

摘要

本发明提供了一种长换液周期和低浓度腐蚀的制绒方法，其特征在于，步骤为：将预清洗后的硅片放入质量百分配比为0.8-1.2%的氢氧化钠、0.2-0.3%的制绒添加剂、3-4%的异丙醇的制绒液中制绒。在盛放制绒液的制绒槽上设计有气动开关溢流口，每批硅片制绒完成后，通过机械手取出该批次硅片，在取出硅片的同时，溢流口阀门自动打开，由机器自带的喷淋装置对硅片进行喷水清洗，喷淋多出的水由溢流口排出，排出后溢流口阀门自动关闭。最后手动添加质量百分浓度为0.25%的氢氧化钠、质量百分浓度为0.3%的制绒添加剂以及质量百分浓度为0.4%的异丙醇，进行下一批次的硅片制绒，如此循环。

主权项

一种长换液周期和低浓度腐蚀的制绒方法，其特征在于，步骤为：步骤1、在预清洗槽内加入去离子水，并将其加热至68‑75℃，之后，均匀添加氢氧化钠和过氧化氢，使得氢氧化钠的质量百分比浓度达到0.24‑0.32%，过氧化氢的体积百分比浓度达到2‑5%,将当前批次的硅片放入预清洗槽内进行预清洗，步骤2、将预清洗后的硅片放入盛有制绒液的制绒槽中制绒，其中，制溶液的液位没过硅片高度4‑6厘米，在制绒槽上制绒液的液位处加开有溢流口，溢流口有气动开关阀门，此时气动开关阀门关闭，制绒液的质量百分配比为0.8‑1.2%的氢氧化钠、0.2‑0.3%的制绒添加剂、3‑4%的异丙醇以及余量的去离子水，每批硅片的制绒时间控制在10‑30分钟；步骤3、当前批次的硅片制绒完成后，取出该批次硅片，在取出硅片的同时，步骤2中所述气动开关阀门开启，使得溢流口打开，由喷淋装置对硅片进行喷水清洗，喷淋多出的水由溢流口排出，排出后气动开关阀门关闭，随后手动添加质量百分浓度为0.25%的氢氧化钠、质量百分浓度为0.3%的制绒添加剂以及质量百分浓度为0.4%的异丙醇，返回步骤2进行下一批次的硅片制绒，如此循环。