[发明专利]一种等离子氢处理制备黑色Y2O3陶瓷涂层的方法有效
申请号: | 201110396196.7 | 申请日: | 2011-12-02 |
公开(公告)号: | CN103132006A | 公开(公告)日: | 2013-06-05 |
发明(设计)人: | 邵花;王文东;刘邦武;夏洋;李勇滔 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | C23C4/12 | 分类号: | C23C4/12;C23C4/10 |
代理公司: | 北京市德权律师事务所 11302 | 代理人: | 刘丽君 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及Y2O3陶瓷涂层制造技术领域,具体涉及一种等离子氢处理制备黑色Y2O3陶瓷涂层的方法。所述方法,包括如下步骤:步骤(1),选择纯度大于99.95%的Y2O3粉末;步骤(2),对待喷涂的基材表面进行预处理;步骤(3),通过等离子体喷涂设备在所述基材表面进行等离子喷涂,制备出Y2O3涂层;步骤(4),将步骤(4)中制备出的Y2O3涂层进行等离子体氢处理,即可得到黑色的Y2O3涂层。本发明利用等离子体氢还原法制备的黑色Y2O3涂层,具有耐刻蚀、耐脏的性能,且成本较低。 | ||
搜索关键词: | 一种 等离子 处理 制备 黑色 sub 陶瓷 涂层 方法 | ||
【主权项】:
一种等离子氢处理制备黑色Y2O3陶瓷涂层的方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤(1),选择纯度大于99.95%的Y2O3粉末;步骤(2),对待喷涂的基材表面进行预处理;步骤(3),通过等离子体喷涂设备在所述基材表面进行等离子喷涂,制备出Y2O3涂层;步骤(4),将步骤(4)中制备出的Y2O3涂层放置于等离子体氢处理设备,进行等离子体氢处理,即可得到黑色的Y2O3涂层。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C4-00 熔融态覆层材料喷镀法,例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆
C23C4-02 .待镀材料的预处理,例如为了在选定的表面区域镀覆
C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
C23C4-12 .以喷镀方法为特征的
C23C4-18 .后处理
C23C4-14 ..用于长形材料的镀覆
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