[发明专利]用于多晶硅铸锭炉的石墨器材的涂层组合物无效
申请号: | 201110397801.2 | 申请日: | 2011-12-05 |
公开(公告)号: | CN103132141A | 公开(公告)日: | 2013-06-05 |
发明(设计)人: | 黄春来;薛抗美;游达 | 申请(专利权)人: | 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B11/00;C30B29/06 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 何平;无 |
地址: | 221004 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开一种用于多晶硅铸锭炉的石墨器材的涂层组合物,其特征在于,所述涂层组合物含有:涂覆物5-30wt%、溶剂60-85wt%,其中所述涂覆物选自氮化硅、碳化硅、二氧化硅和碳酸钡中的一种或几种;所述溶剂选自水或乙醇。本发明涂层组合物可减少气态碳硅化合物对多晶硅锭的碳污染,同时也在坩埚开裂漏锅时,保护石墨器材免受硅液的损毁。 | ||
搜索关键词: | 用于 多晶 铸锭 石墨 器材 涂层 组合 | ||
【主权项】:
用于多晶硅铸锭炉的石墨器材的涂层组合物,其特征在于,所述涂层组合物含有:涂覆物5‑30wt%溶剂 60‑85wt%其中所述涂覆物选自氮化硅、碳化硅、二氧化硅和碳酸钡中的一种或几种;所述溶剂选自水或乙醇。
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