[发明专利]由多极化方式压电驱动器驱动的多自由度微操作器

摘要

本发明公开了一种由多极化方式压电驱动器驱动的多自由度微操作器。包括基座，嵌套的X、Y轴平动微动机构，Z轴平动微动机构，Z轴转动微动机构和末端执行机构。三维平动通过压电应变常数d33的压电叠堆驱动器驱动柔性铰链实现，Z轴转动由压电应变常数d15的压电扭转驱动器驱动扭转臂实现，末端执行机构为由基于压电应变常数d31的压电双晶片悬臂梁组成的的微夹持器或微注射探针。在不同极化方式的压电驱动器驱动下，实现三维平动，绕Z轴转动，绕X轴摆动的高精度微动，通过不同的末端执行臂，完成夹持、搬运、探刺以及注射等操作。具有自由度解耦、结构紧凑、操作灵活、控制方便、运动精度高等优点，本发明可用于生物医学及微机电工程等领域。

主权项

一种由多极化方式压电驱动器驱动的多自由度微操作器，其特征在于：包括基座(1)，两个结构相同的Z轴平动微动机构(2、3)，嵌套的X、Y轴平动微动机构(4)，Z轴转动微动机构(5)和末端执行机构；两个结构相同的Z轴平动微动机构(2、3)对称垂直的固定在基座(1)的两侧，嵌套的X、Y轴平动微动机构(4)的两端分别与各自的Z轴平动微动机构(2、3)相连，Z轴转动微动机构(5)通过其下部法兰(33)与嵌套的X、Y轴微动机构(4)中的X向运动台(27)相连，末端执行机构通过其安装法兰与Z轴转动微动机构(5)的上部法兰(36)相连。