[发明专利]硬X射线微聚焦多厚度比复合多层膜Laue透镜有效
| 申请号： | 201110400987.2 | 申请日： | 2011-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN103151089A | 公开（公告）日： | 2013-06-12 |
| 发明（设计）人： | 朱京涛;黄秋实;李浩川;王占山 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | G21K1/06 | 分类号： | G21K1/06;B32B9/04 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 叶敏华 |
| 地址： | 200092 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及硬X射线微聚焦多厚度比复合多层膜Laue透镜，针对透镜结构中，从中心到外层不同区域的局部光栅选择不同的膜层厚度比γ(以WSi2/Si材料组合为例，γ＝dsi/(dWSi2+dsi)：对中心区域周期较大的光栅选择较小的γ，减小应力；对外层区域周期较小的光栅选择相对较大的γ，保证衍射效率。与传统的多层膜Laue透镜相比，本发明提出多厚度比复合结构的设计，在保证衍射效率的前提下，减小上千层膜层镀制过程中膜系的应力，从而可以制作更厚的多层膜结构，有效增大Laue透镜的口径和光通量。 | ||
| 搜索关键词： | 射线 聚焦 厚度 复合 多层 laue 透镜 | ||
【主权项】：
硬X射线微聚焦多厚度比复合多层膜Laue透镜，其特征在于，该复合多层膜Laue透镜由在基底上通过交替镀制WSi2和Si两种材料层形成，其中每层WSi2材料层和Si材料层构成局部光栅结构。
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