[发明专利]一种电子倍增器打拿极曲面镀膜基盘架有效
申请号: | 201110401256.X | 申请日: | 2011-12-06 |
公开(公告)号: | CN102517557A | 公开(公告)日: | 2012-06-27 |
发明(设计)人: | 李晨;王多书;熊玉卿;陈焘;王济洲;张玲;董茂进 | 申请(专利权)人: | 中国航天科技集团公司第五研究院第五一〇研究所 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
代理公司: | 北京理工大学专利中心 11120 | 代理人: | 杨志兵;李爱英 |
地址: | 730000 甘*** | 国省代码: | 甘肃;62 |
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摘要: | 本发明涉及一种电子倍增器打拿极曲面镀膜基盘架,属于表面工程领域。所述基盘架为圆盘,在圆盘上等间隔开有一个或多个工字型孔;在工字型孔两端分别设有孔的上部突台和下部突台,在工字型孔中部的两边下方分别设有两个对称的侧板,两个侧板与基盘架垂直并融合;侧板为三角形,在两个侧板上开有平行滑道;滑道深度小于侧板厚度,侧板厚度大于打拿极护耳宽度。滑道的倾斜度与A’C’线倾斜度相同。所述的基盘架能解决打拿极曲面镀膜中成膜均匀性、稳定性等问题,同时可以快速、准确安装打拿极特殊曲面基片。 | ||
搜索关键词: | 一种 电子倍增器 打拿极 曲面 镀膜 基盘架 | ||
【主权项】:
一种电子倍增器打拿极曲面镀膜基盘架,其特征在于:所述基盘架为圆盘,在圆盘上等间隔开有一个或多个工字型孔;所有工字型孔的中心到圆盘圆心的距离相等;沿x轴方向,工字型孔的孔长为20~22mm;沿y轴方向,在工字型孔两端分别设有孔的上部突台和下部突台,上部外侧突台长14~15mm,宽3~5mm,下部外侧突台长14~15mm,宽2~3mm;上部突台和下部突台之间为工字型孔的中部,工字型孔的中部宽8mm;沿z轴方向,在工字型孔中部的两边下方分别设有两个对称的侧板,两个侧板与基盘架垂直并融合;侧板为三角形,有a、b、c三个面,其中c面与基盘架垂直,a、b面交汇于A线,a面与工字型孔的上部突台的底面沿B线汇合,b、c面在C线相交,D线位于工字型孔的下部突台底面的下端,c面延伸到D线;A线与a面交于A’点,C线与c面交于C’点,B线与c面交于B’点;在c面上开有与A’C’线平行的滑道EF,滑道EF一端与A’B’线相交于F点,另一端延伸到基盘架表面的E点,E点与C’点位于基盘架的两侧;在对称的另一侧板上也开有与滑道EF平行的对称滑道;滑道深度小于侧板厚度,滑道的倾斜度与A’C’线倾斜度相同,侧板厚度大于打拿极护耳宽度e。
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