[发明专利]准单晶硅片的外观检测方法

摘要

本发明涉及一种准单晶硅片的外观检测方法，其包括以下步骤：首先，将准单晶硅片表面积划分成n×n阵列的网格，令每个网格面积占整个准单晶硅片面积的1/(n×n)。之后，将阵列通过网格线制作于一个透明基底，形成二维网格量尺。接着，将二维网格量尺与硅片四周边缘重合。随后，透过二维网格量尺的透明基底观察硅片表面，找出硅片上单晶晶粒、多晶晶粒的位置分布，并统计。最后，将单晶晶粒占据的网格数量乘1/(n×n)，即为单晶晶粒占整个硅片面积的比例，将多晶晶粒占据的网格数量乘1/(n×n)，即为多晶晶粒占整个准单晶硅片面积的比例。由此，可以快速评价准单晶硅片质量。并且，能够提高检测的准确率。

主权项

准单晶硅片的外观检测方法，其特征在于包括以下步骤：步骤①，将准单晶硅片表面积划分成n×n阵列的网格，令每个网格面积占整个准单晶硅片面积的1/(n×n)；步骤②，将n×n阵列，通过网格线制作于一个透明基底，形成二维网格量尺；步骤③，将二维网格量尺贴于准单晶硅片表面；步骤④，调整二维网格量尺的网格线外围四个边缘线，以与硅片四周边缘重合；步骤⑤，透过二维网格量尺的透明基底观察硅片表面，找出硅片上单晶晶粒、多晶晶粒的位置分布，并统计出单晶晶粒、多晶晶粒占据的网格数量；步骤⑥，将单晶晶粒占据的网格数量乘1/(n×n)，即为单晶晶粒占整个硅片面积的比例，将多晶晶粒占据的网格数量乘1/(n×n)，即为多晶晶粒占整个准单晶硅片面积的比例。