[发明专利]一种电容式微机械加速度计温度补偿系统及其方法有效
| 申请号： | 201110402038.8 | 申请日： | 2011-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN102435774A | 公开（公告）日： | 2012-05-02 |
| 发明（设计）人： | 朱辉杰;金仲和;胡世昌;刘义东 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 张法高 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电容式微机械加速度计温度补偿系统及其方法，电容式微机械加速度计温度补偿系统包括电容式微机械加速度传感器、驱动信号产生电路、电容/电压转换电路、模拟带通滤波器、第一数/模转换器、模/数转换器、第二数/模转换器、第三数/模转换器和现场可编程门阵列芯片，电容式微机械加速度计温度补偿方法包括载波产生/同步解调、谐振频率锁定和零偏温度补偿三个步骤。本发明利用电容式微机械加速度传感器的谐振频率随温度的变化来检测电容式微机械加速度传感器温度的变化，并作为电容式微机械加速度计系统输出信号的补偿参考信号进行温度补偿。本发明降低温度补偿成本，排除温度测量误差对补偿精度的影响，提高温度补偿精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电容 式微 机械 加速度计 温度 补偿 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种电容式微机械加速度计温度补偿系统，其特征在于包括电容式微机械加速度传感器、驱动信号产生电路、电容/电压转换电路、模拟带通滤波器、第一数/模转换器、模/数转换器、第二数/模转换器、第三数/模转换器和现场可编程门阵列芯片，电容式微机械加速度传感器的输出端与电容/电压转换电路的输入端连接，电容/电压转换电路的输出端与模/数转换器的输入端连接，模/数转换器的输出端与现场可编程门阵列芯片的输入端连接，现场可编程门阵列芯片的第一输出端与第一数/模转换器的输入端连接，现场可编程门阵列芯片的第二输出端与第二数/模转换器的输入端连接，现场可编程门阵列芯片的第三输出端与第三数/模转换器的输入端连接，第一数/模转换器的输出端与驱动信号产生电路的输入端连接，第二数/模转换器的输出端与模拟带通滤波器的输入端连接，驱动信号产生电路的输出端和模拟带通滤波器的输出端分别与电容式微机械加速度传感器的两个输入端连接；所述的现场可编程门阵列芯片内部完成载波产生/同步解调、谐振频率锁定和零偏温度补偿的功能，现场可编程门阵列芯片的第一输出端输出交流驱动信号，交流驱动信号经第一数/模转换器和驱动信号产生电路后输入电容式微机械加速度传感器，现场可编程门阵列芯片的第二输出端输出载波信号，载波信号经第二数/模转换器和模拟带通滤波器后输入电容式微机械加速度传感器，电容式微机械加速度传感器的输出信号经电容/电压转换电路转换成电压信号，经模/数转换器输入现场可编程门阵列芯片的输入端进行信号处理，电容式微机械加速度传感器的谐振频率随温度的变化可检测电容式微机械加速度传感器温度的变化，并作为电容式微机械加速度计系统输出信号的补偿参考信号进行温度补偿，温度补偿后的信号经现场可编程门阵列芯片的第三输出端由第三数/模转换器进行输出。
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