[发明专利]湿度调节系统

摘要

一种湿度调节系统，适用于无尘室中。此湿度调节系统包括外气空调装置、多个喷雾装置以及多个温度/湿度感测器。外气空调装置包括入风单元、送风单元以及温度调节单元。流入外气空调装置的外界气体会依序通过入风单元、温度调节单元以及送风单元，再供应至无尘室的各主机台工作区内。喷雾装置配置于无尘室的外围区而邻近各主机台工作区的气体出口通道，用以提供水雾，以对自主机台工作区流向外围区的气体进行降温及加湿。温度/湿度感测器则是设置于外围区，用以感测自喷雾装置加湿后供应主机台工作区流出的气体的温度/湿度状态。

主权项

一种湿度调节系统，适用于一无尘室，其特征在于，该无尘室包括多个主机台工作区与一外围区，该外围区环绕该些主机台工作区，且各该主机台工作区具有一气体入口与一气体出口通道，并且各该主机台工作区通过该气体入口与该气体出口通道连通至该外围区，而该湿度调节系统包括：一外气空调装置，包括：一入风单元，适于供一外界气体流入；一送风单元，适于将该外界气体送至该外围区，以使该外界气体通过该些气体入口流入各该主机台工作区内；一温度调节单元，与该入风单元及该送风单元相邻而配置于其间，以使该外界气体在通过该入风单元后，接着直接通过该温度调节单元，并且在通过该温度调节单元后，再接着直接通过该送风单元；多个喷雾装置，分别配置于该外围区而邻近各该主机台工作区的该气体出口通道，各该喷雾装置适于提供一水雾，以对自其所对应的该主机台工作区流向该外围区的一气体进行降温及加湿；以及多个第一温度/湿度感测器分别设置于外围区且邻近各该气体入口。