[发明专利]一种红外纳秒脉冲激光刻蚀GPS触控面板上导电层的装备和方法

摘要

本发明涉及一种红外纳秒脉冲激光刻蚀GPS触控面板上导电层的装备和方法，即用红外纳秒激光刻蚀GPS触控面板上导电膜层工艺，具体过程是利用红外纳秒脉冲激光通过光学聚焦系统将激光束聚焦为10微米到100微米的光斑，聚焦后光斑，达到材料的去除能量阈值，通过高速扫描振镜系统精密快速扫描，最高速度可以达到10米每秒，从而实现GPS触控面板上导电膜层的电容屏线路制作目的，最终实现多点触控功能。本发明具有自动化程度高、日常维护简单、环保、节约成本以及方便快捷等优点。

主权项

一种红外纳秒脉冲激光刻蚀GPS触控面板上导电层的装备和方法，利用振镜后聚焦的光路聚焦系统，使用红外纳秒高频率的脉冲激光器，对GPS触摸屏上导电膜层线路进行激光刻蚀，其特征在于，具体步骤为：A)将GPS触摸屏上导电层上灰尘擦拭干净，并均匀铺设在激光聚焦处位置，吸附在移动平台上，并做好固定；B)将高频率的红外脉冲激光器搭建在设备上，并进行固定和稳定出光，激光出光的光束搭配一个同轴的红灯指示装置，经过外带的同轴扩束镜进行准直扩束，进入振镜单元，这个振镜具有两个XY方向的反射镜片，反射镜片经两个精密地电机带动，实现高速扫描，然后进入振镜的后聚焦装置，在焦点位置处，实现光斑的精密聚焦，此焦点处能量可以达到去除材料的能量阈值；C)将GPS触摸屏所设计电容屏方案的线路导入软件中，振镜控制卡跟据图形内容进行识别转化为光电数字信号转换，使得振镜的XY两个轴向分别按照图形单元进行一定角度的旋转，在振镜后聚焦场镜下完成所要刻蚀的图形；D)激光按照设计图形进行刻蚀时，要同时打开等离子吹气、吸气和积尘装置系统，确保刻蚀产生的粉尘全部吸入集尘系统中，同时等离子风对刻蚀中产生的导电离子也有一定极化作用，使得颗粒能快速聚集在集尘装置中。e)可以对多种材料进行刻蚀。