[发明专利]纳米金属粒实现LED的低温金属界面连接的制备方法有效

专利信息
申请号: 201110403731.7 申请日: 2011-12-06
公开(公告)号: CN103151430B 公开(公告)日: 2018-04-27
发明(设计)人: 刘葳;金鹏 申请(专利权)人: 北京大学深圳研究生院
主分类号: H01L33/00 分类号: H01L33/00
代理公司: 深圳鼎合诚知识产权代理有限公司44281 代理人: 郭燕
地址: 518055 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明属于LED芯片制备领域,其公开了一种纳米金属颗粒实现LED的低温金属界面连接的制备方法,包括如下步骤将纳米金属颗粒浆料制备在金属热沉的热沉镀层表面;将LED芯片放置在纳米颗粒浆料上,并且使LED芯片背面的金属层与纳米颗粒浆料充分接触;无氧气氛下,对步骤S1进行低温回流处理,实现LED芯片与金属热沉的金属界面连接。本发明采用微纳米金属颗粒浆料作为热界面材料,可以与现有的封装设备与生产线相匹配,也就是说可以直接取代现有的Sn基焊料,(SnPb焊料、SnAgCu焊料等),在较低的温度下获得LED晶片与金属热沉的金属界面连接,可以有效地降低生产成本、提高生产效率。
搜索关键词: 纳米 金属 实现 led 低温 界面 连接 制备 方法
【主权项】:
一种纳米金属颗粒实现LED的低温金属界面连接的制备方法,适用于倒装芯片,其特征在于,包括如下步骤:S1、将纳米金属颗粒浆料制备在金属热沉的热沉镀层表面;S2、将经扩晶处理的LED芯片放置在金属热沉上,并使芯片背面的金属层与纳米金属颗粒浆料充分接触;S3、无氧气氛下,对步骤S2得到的产物进行低温回流处理,获得LED芯片与热沉的低热阻金属界面连接。
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