[发明专利]多晶硅碱性制绒方法无效
| 申请号： | 201110404087.5 | 申请日： | 2011-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN102437044A | 公开（公告）日： | 2012-05-02 |
| 发明（设计）人： | 陈腾;赵有文 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01L21/306 | 分类号： | H01L21/306 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种多晶硅碱性制绒方法，包括以下步骤：1)配制碱性制绒液；2)将配制好的制绒液加热，然后取一片多晶硅浸泡于制绒液中，进行制绒；3)对制绒后的多晶硅片漂洗；4)漂洗后酸洗，再进行二次漂洗；5)将二次漂洗后的多晶硅片甩干，完成多晶硅碱性制绒的步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 碱性 方法 | ||
【主权项】：
一种多晶硅碱性制绒方法，包括以下步骤：1)配制碱性制绒液；2)将配制好的制绒液加热，然后取一片多晶硅浸泡于制绒液中，进行制绒；3)对制绒后的多晶硅片漂洗；4)漂洗后酸洗，再进行二次漂洗；5)将二次漂洗后的多晶硅片甩干，完成多晶硅碱性制绒的步骤。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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