[发明专利]可调谐载流子诱导波导光栅无效
申请号: | 201110404472.X | 申请日: | 2011-12-07 |
公开(公告)号: | CN102495449A | 公开(公告)日: | 2012-06-13 |
发明(设计)人: | 方青;段靖远;张运方;孔庆善;刘育梁 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | G02B6/124 | 分类号: | G02B6/124 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 汤保平 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种可调谐载流子诱导波导光栅,包括:一光传输波导;周期型分布的P掺杂区,形成在光传输波导芯层内的一侧;周期型分布的N掺杂区,远离P掺杂区,形成在光传输波导芯层上的另一侧,该P掺杂区和N掺杂区的中间形成一间隙;所述载流子诱导波导光栅是在偏压下以抽空载流子的方式,实现波导导波的功能;在偏压下注入载流子或不注入载流子均能实现导波光栅的滤波功能,诱导波导光栅是沿光传输方向周期排列。 | ||
搜索关键词: | 调谐 载流子 诱导 波导 光栅 | ||
【主权项】:
一种可调谐载流子诱导波导光栅,包括:一光传输波导;周期型分布的P掺杂区,形成在光传输波导芯层内的一侧;周期型分布的N掺杂区,远离P掺杂区,形成在光传输波导芯层上的另一侧,该P掺杂区和N掺杂区的中间形成一间隙;所述载流子诱导波导光栅是在偏压下以抽空载流子的方式,实现波导导波的功能;在偏压下注入载流子或不注入载流子均能实现导波光栅的滤波功能,诱导波导光栅是沿光传输方向周期排列。
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