[发明专利]用于减少应力的伪倒装芯片凸块有效
申请号: | 201110404906.6 | 申请日: | 2011-12-07 |
公开(公告)号: | CN102956590A | 公开(公告)日: | 2013-03-06 |
发明(设计)人: | 吴胜郁;郭庭豪;庄其达;陈承先 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/485 | 分类号: | H01L23/485;H01L23/488;H01L23/58 |
代理公司: | 北京德恒律师事务所 11306 | 代理人: | 陆鑫;房岭梅 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种器件包括金属焊盘,该金属焊盘位于衬底上方;钝化层,该钝化层包括位于金属焊盘上方的一部分;钝化后互连件(PPI),该PPI电连接至金属焊盘,其中PPI包括位于金属焊盘和钝化层上方的一部分;聚合物层,该聚合物层位于PPI上方;以及伪凸块,该伪凸块位于聚合物层上方,其中伪凸块与聚合物层下面的导电部件电绝缘。本发明提供用于减少应力的伪倒装芯片凸块。 | ||
搜索关键词: | 用于 减少 应力 倒装 芯片 | ||
【主权项】:
一种器件,包括:衬底;金属焊盘,位于所述衬底上方;钝化层,包括位于所述金属焊盘上方的一部分;钝化后互连件(PPI),电连接至所述金属焊盘,其中所述PPI包括位于所述金属焊盘和所述钝化层上方的一部分;聚合物层,位于所述PPI上方;以及伪凸块,位于所述聚合物层上方,其中所述伪凸块与所述聚合物层下面的导电部件电绝缘。
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