[发明专利]可变波长干涉滤波器、光模块以及光分析装置

摘要

一种可变波长干涉滤波器、光模块以及光分析装置。该可变波长干涉滤波器具备：第一电极，其设在第一基板上；第二电极，其设在具有可动部的第二基板上，并与第一电极对置；第一电极线，其被设置成从第一电极向第一基板的外周边缘延伸出；第二电极线，其被设置成从第二电极向第二基板的外周边缘延伸出；第一对置电极线，其被设置成与第一电极线相对且与第二电极绝缘；以及第一导通部，其导通第一电极线和第一对置电极线，其中，第二电极线和第一对置电极线在从第二基板的厚度方向看的俯视图中，被形成为沿通过以可动部的中心点为中心的假想圆的中心点、并以等角度间隔分割假想圆的方向延伸出。

主权项

一种可变波长干涉滤波器，其特征在于，具备：第一基板；第二基板，所述第二基板与所述第一基板相对，并具有能够相对于所述第一基板进退移动的可动部；第一反射膜，所述第一反射膜设在所述第一基板的、与所述第二基板相对的面上；第二反射膜，所述第二反射膜设在所述可动部的与所述第一基板相对的面上，并隔着规定的第一间隙与所述第一反射膜相对；第一电极，所述第一电极设在所述第一基板的与所述第二基板相对的面上；第二电极，所述第二电极设在所述第二基板的与所述第一基板相对的面上，并隔着规定的第二间隙与所述第一电极相对；第一电极线，所述第一电极线设在所述第一基板上，并被设置成从所述第一电极向所述第一基板的外周边缘延伸出；第二电极线，所述第二电极线设在所述第二基板上，并被设置成从所述第二电极向所述第二基板的外周边缘延伸出；第一对置电极线，所述第一对置电极线设在所述第二基板上，并被设置成与所述第一电极线相对且与所述第二电极绝缘；以及第一导通部，所述第一导通部导通所述第一电极线和所述第一对置电极线，在从第二基板的厚度方向看的俯视图中，所述第二电极线和所述第一对置电极线被形成为沿通过以所述可动部的中心点为中心的 假想圆的所述中心点、并以等角度间隔分割所述假想圆的方向延伸出。