[发明专利]气体浓度调节装置和气体浓度调节方法有效
| 申请号： | 201110407489.0 | 申请日： | 2011-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN102565281A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 桥本雄一郎;宫地润一 | 申请（专利权）人： | 株式会社堀场STEC |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 周善来;李雪春 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供气体浓度调节装置和气体浓度调节方法，能防止标准气体管线(3)中的标准气体的滞留，从而能防止因标准气体的吸附和变质等造成标准气体的浓度降低。所述气体浓度调节装置包括：稀释气体管线(2)，设置有稀释气体流量调节机构(23)；标准气体管线(3)，设置有标准气体流量调节机构(33)；输出气体管线(4)，将稀释气体管线(2)和标准气体管线(3)汇合并输出规定浓度的标准气体；排气管线(5)，在标准气体管线(3)上与标准气体流量调节机构(33)的上游一侧连接，设置有开关阀和流量调节部；以及控制部(6)，根据流过标准气体管线(3)的标准气体的流量或所述标准气体的种类，切换开关阀的开闭。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 浓度 调节 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种气体浓度调节装置，通过把第一气体和第二气体按规定比例混合，生成规定浓度的混合气体，其特征在于，所述气体浓度调节装置包括：第一气体管线，设置有第一气体流量调节机构，该第一气体流量调节机构用于控制所述第一气体的流量；第二气体管线，设置有第二气体流量调节机构，该第二气体流量调节机构用于控制所述第二气体的流量；输出气体管线，将所述第一气体管线和所述第二气体管线汇合并输出规定浓度的混合气体；排气管线，在所述第二气体管线上与所述第二气体流量调节机构的上游一侧连接，该排气管线设置有开关阀和使规定流量的所述第二气体流过的流量调节部；以及控制部，根据流过所述第二气体管线的所述第二气体的流量或所述第二气体的种类，切换设置在所述排气管线上的所述开关阀的开闭。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社堀场STEC，未经株式会社堀场STEC许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110407489.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
