[发明专利]电磁力驱动无回流微升精度微泵

摘要

电磁力驱动无回流微升精度微泵，涉及一种微泵。设有线圈、线圈支架、永磁体、压板、泵腔膜片、泵体和单向阀；压板设在泵体上，永磁体设在泵腔膜片中，膜片设在泵体上表面；单向阀上板、单向阀膜片和单向阀下板压合在一起；单向阀上、下板左边分别设有左、右上板孔，单向阀膜片左边设有4个左膜片孔，左上板孔、左膜片孔和左下板孔组成左单向阀；单向阀上、下板右边分别设有右上、下板孔，单向阀膜片右边设有4个右膜片孔，右上板孔、右膜片孔和右下板孔组成右单向阀；左上板孔的孔径小于右上板孔的孔径；左下板孔的孔径大于右下板孔的孔径；左、右上板孔的位置分别与左、右下板孔的位置对应，左、右膜片孔的位置分别与左、右下板孔的位置对应。

主权项

电磁力驱动无回流微升精度微泵，其特征在于设有线圈、线圈支架、永磁体、压板、泵腔膜片、泵体和单向阀；所述线圈绕制在线圈支架上，压板设在泵体上，压板用于将线圈支架压紧在泵体的上表面；所述永磁体设在泵腔膜片中，泵腔膜片设在泵体的上表面；所述泵体内设有泵腔；所述单向阀设有单向阀上板、单向阀膜片和单向阀下板，所述单向阀上板、单向阀膜片和单向阀下板压合在一起；所述单向阀上板的左边设有左上板孔，所述单向阀膜片的左边设有4个左膜片孔，所述单向阀下板的左边设有左下板孔，所述单向阀上板的左上板孔、单向阀膜片的4个左膜片孔和单向阀下板的左下板孔组成左单向阀；所述单向阀上板的右边设有右上板孔，所述单向阀膜片的右边设有4个右膜片孔，所述单向阀下板的右边设有右下板孔，所述单向阀上板的右上板孔、单向阀膜片的4个右膜片孔和单向阀下板的右下板孔组成右单向阀；所述左上板孔的孔径小于右上板孔的孔径；所述左下板孔的孔径大于右下板孔的孔径；所述左上板孔的位置与左下板孔的位置对应，所述左膜片孔的位置与左下板孔的位置对应；所述右上板孔的位置与右下板孔的位置对应，所述右膜片孔的位置与右下板孔的位置对应。