[发明专利]基于马耳他十字机芯机构的容积式真空泵

摘要

本发明公开了一种基于马耳他十字机芯机构的容积式真空泵，包括马耳他十字机芯机构，从动盘上设有沟槽，驱动盘上设有卡合体，沟槽的底形成泵腔，泵腔内设有活塞，轴线位于同一直线上的两个活塞通过刚性连接件连接；从动盘绕与机芯轴旋转，极芯轴上设有进气孔和出气孔，当卡合体与一沟槽卡合时，该沟槽所对应泵腔与所述出气孔连通，与该泵腔位于同一轴线的另一泵腔与所述进气孔连通。该真空泵采用马耳他十字机芯机构具有较高的控制精度，充分利用圆周运动的方式，运行更加的平稳，效率更高，可大幅减少泵体的震动和噪音，损耗较小，使用寿命长，且无需进排气阀片，采用旋转式机械进排气密封性更好，可实现较高的真空度。

主权项

一种基于马耳他十字机芯机构的容积式真空泵，包括马耳他十字机芯机构，所述马耳他十字机芯机构包括一驱动盘和一从动盘，所述从动盘上设有偶数个沟槽，所述沟槽沿所述从动盘的径向均匀分布，所述驱动盘上设有一卡合体，所述卡合体与所述沟槽卡合时，所述驱动盘旋转可驱动所述从动盘旋转，其特征在于：所述沟槽的底部设有通孔，所述通孔形成泵腔，所述泵腔内设有与其相配合的活塞，轴线位于同一直线上的两个活塞通过刚性连接件连接；所述从动盘绕与一机芯轴旋转，所述机芯轴固定，所述泵腔与所述极芯轴动密封连接，所述极芯轴上设有一进气孔和一出气孔，当所述卡合体与一沟槽卡合时，该沟槽所对应泵腔与所述出气孔连通，与该泵腔位于同一轴线的另一泵腔与所述进气孔连通。