[发明专利]位置敏感传感器的标定装置和标定方法

摘要

一种位置敏感传感器的标定装置和标定方法，该装置的构成包括照明单元、双光楔单元、指向敏感光路单元、位置敏感传感器、数据采集与控制单元和CCD光束监测单元。本发明具有结构简单，操作方便，标定方法准确可靠，可以快速标定位置敏感传感器的响应范围，线性度，精度和动态响应误差等。

主权项

一种位置敏感传感器的标定装置，特征在于其构成括：照明单元(1)、双光楔单元(2)、指向敏感光路单元(3)、位置敏感传感器(4)、数据采集与控制单元(5)和CCD光束监测单元(6)：所述的照明单元(1)由激光器(101)、准直镜(102)、小孔光阑(104)和分光镜(106)组成，所述的激光器(101)发出的激光经所述的准直镜(102)变成平行光束(103)，该平行光束再经小孔光阑(104)形成具有一定孔径的光束(105)，在该光束(105)的传播方向顺序放置所述的分光镜(106)和双光楔单元(2)；所述的双光楔单元(2)包括第一光楔(201)和第二光楔(202)，分别位于第一电动旋转台(204)和第二电动旋转台(205)上，所述的光束(105)经过所述的分光镜(106)分为反射光束和透射光束，所述的透射光束依次通过第一光楔(201)和第二光楔(202)，得到出射光束(203)，所述的反射光束进入所述的CCD光束监测单元(6)；所述的指向敏感光路单元(3)由共焦的第一聚焦透镜(301)和第一成像透镜(304)组成，第一聚焦透镜(301)的焦点光斑303作为第一成像透镜(304)的物点；所述的位置敏感传感器(4)包括光敏面(401)、传感器(402)、触角(403)及处理电路(404)，该位置敏感传感器(4)的输出端接所述的数据采集与控制单元(5)的输入端；所述的数据采集与控制单元(5)包括数据采集卡及其接线盒(501)，PC机和控制软件(502)；所述的CCD光束监测单元(6)由第二成像透镜(601)、第三成像透镜(603)、光衰减片(604)和CCD(606)组成，该CCD光束监测单元(6)的输出端接所述的数据采集与控制单元(5)的输入端；所述的数据采集与控制单元(5)的输出端与所述的双光楔单元(2)的第一电动旋转台(204)和第二电动旋转台(205)的控制端相连。