[发明专利]基于MEMS扫描微镜的小型化无镜头激光三维成像系统及其成像方法无效

专利信息
申请号: 201110411782.4 申请日: 2011-12-12
公开(公告)号: CN102508259A 公开(公告)日: 2012-06-20
发明(设计)人: 王焕钦;王莹;陈然;徐军;何德勇;赵天鹏;明海 申请(专利权)人: 中国科学院合肥物质科学研究院
主分类号: G01S17/89 分类号: G01S17/89;G01S17/36;G01S7/481;G02B26/10
代理公司: 合肥天明专利事务所 34115 代理人: 奚华保
地址: 230031 安徽省合*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开了一种基于MEMS扫描微镜的小型化无镜头激光三维成像系统及其成像方法,该系统采用红、绿、蓝三色激光器作为照明光源,三色激光输出光功率经调制后组合为一束白光投射到目标表面;使用光电接收器组接收目标表面散射光中的红、绿、蓝光分量,并由测量电路获得单个被测像素的距离值和三色光分量的幅度值。微控制器根据三色光分量的幅度值计算单个被测像素的三色亮度值,并利用实时距离平方修正方法获得该像素的三色真实亮度值。微控制器控制MEMS微镜进行扫描,获得全部像素的距离值和真实亮度值,并组合生成目标的深度图像和灰度图像,最终获得目标的三维彩色图像。本发明无需光学镜头,成像分辨率高、速度快、结构简单、便于小型化。
搜索关键词: 基于 mems 扫描 小型化 镜头 激光 三维 成像 系统 及其 方法
【主权项】:
一种基于MEMS扫描微镜的小型化无镜头激光三维成像系统,其特征在于:包括激光器组、光电调制电路(2)、分束镜组、反射镜组、双轴MEMS微镜(5)、微镜驱动电路(6)、滤光片组、光电接收器组、幅度测量电路组和幅度‑距离测量电路(10);所述光电调制电路(2)与激光器组相连接,所述光电接收器组经幅度测量电路组和幅度‑距离测量电路(10)与微控制器(11)相连接,所述微控制器(11)与显示器(12)交互连接;所述微控制器(11)输出端与微镜驱动电路(6)输入端相连接,并由微镜驱动电路(6)驱动双轴MEMS微镜(5)。
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