[发明专利]具有与机械及电功能分离的光学功能的微机电装置无效
| 申请号： | 201110412304.5 | 申请日： | 2008-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN102393562A | 公开（公告）日： | 2012-03-28 |
| 发明（设计）人： | 丹尼斯·恩迪施;马克·米尼亚尔 | 申请（专利权）人： | 高通MEMS科技公司 |
| 主分类号： | G02B26/00 | 分类号： | G02B26/00;B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘国伟 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及具有与机械及电功能分离的光学功能的微机电装置。本发明提供一种微机电(MEMS)装置(800)，其包括具有顶表面(88)的衬底(20)、在所述衬底(20)上的可移动元件(810)及激活电极(82)。所述可移动元件(810)包括可变形层(34)及以机械方式耦合到所述可变形层(34)的反射元件(814)。所述反射元件(814)包含反射表面(92)。所述激活电极(82)与所述反射表面(92)横向地安置。所述可移动元件(810)通过在大体垂直于所述衬底(20)的所述顶表面(88)的方向上移动来对施加于所述激活电极(82)与所述可移动元件(810)之间的电压差作出响应。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 机械 功能 分离 光学 微机 装置 | ||
【主权项】：
一种机电装置，其包括：可移动元件，所述可移动元件包括导电的可变形层；及以机械方式耦合到所述可变形层的反射元件，所述反射元件包含反射表面；以及激活电极，其处于所述可变形层的至少一部分之下，并与所述反射表面横向地安置，所述可移动元件可响应于所述激活电极与所述可变形层之间施加的电压差从第一位置移动到第二位置。
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