[发明专利]一种用于集成电路测试的装置无效
| 申请号： | 201110412462.0 | 申请日： | 2011-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN102495248A | 公开（公告）日： | 2012-06-13 |
| 发明（设计）人： | 段超毅 | 申请（专利权）人： | 段超毅 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京英特普罗知识产权代理有限公司 11015 | 代理人： | 齐永红 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市黄*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于集成电路测试的装置，其具有的探针固定装置包括侧板和至少两块探针固定板；所述探针固定板的上表面和下表面具有平行设置的凹槽，所述凹槽包括与探针主体相匹配的第一凹槽，以及位于直线凹槽两端的与探针端部相匹配的第二凹槽，第二凹槽的截面形状为半圆形；并且，叠放在一起的两块探针固定板的相对应的凹槽端部形成圆形孔，叠放在一起的两块探针固定板的凹槽端部形成一排圆孔，叠放在一起的多块探针固定板的凹槽端部形成圆孔阵列。所述用于集成电路测试的装置，多块探针固定板与和两块采用注塑的方式加工，成本极低，尺寸稳定性好，是对传统的一种突破；此外，所述测试装置用于测试小间距的集成电路。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 集成电路 测试 装置 | ||
【主权项】：
一种用于集成电路测试的装置，包括探针固定装置，其特征在于：所述探针固定装置包括侧板和至少两块探针固定板；其中，所述探针固定板的上表面和下表面具有平行设置的凹槽，所述凹槽包括与探针主体相匹配的第一凹槽，以及位于直线凹槽两端的与探针端部相匹配的第二凹槽，第二凹槽的截面形状为半圆形；并且，叠放在一起的两块探针固定板的相对应的凹槽端部形成圆形孔，叠放在一起的两块探针固定板的凹槽端部形成一排圆孔，叠放在一起的多块探针固定板的凹槽端部形成圆孔阵列。
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