[发明专利]一种等离子体腔室内衬结构无效
| 申请号： | 201110413562.5 | 申请日： | 2011-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN103165379A | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 屈芙蓉;李超波;陈瑶;夏洋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京市德权律师事务所 11302 | 代理人： | 刘丽君 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种等离子体腔室内衬结构，属于等离子体注入技术领域。所述腔室内衬结构包括外部衬体、内部衬体和底部衬体，外部衬体通过底部衬体与内部衬体形成空心一体化对称结构；底部衬体均匀的设置有多个长条形状的排气孔。本发明对现有的等离子体腔室内衬结构进行了改进优化，不仅可以改善等离子体的工作性能，而且还可以使等离子体的密度更加均匀，并且该种结构制造加工方便，维护方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子 体腔 内衬 结构 | ||
【主权项】：
一种等离子体腔室内衬结构，其特征在于，所述腔室内衬结构包括外部衬体、内部衬体和底部衬体，所述外部衬体通过底部衬体与内部衬体形成空心一体化对称结构；所述底部衬体均匀的设置有多个长条形状的排气孔。
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