[发明专利]基于双测头扫描数据拼接的工件转台误差分离的测量装置及方法有效
| 申请号： | 201110414841.3 | 申请日： | 2011-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN102519416A | 公开（公告）日： | 2012-06-27 |
| 发明（设计）人： | 景洪伟;匡龙;吴时彬;曹学东 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G01B21/20 | 分类号： | G01B21/20 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 李新华;成金玉 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于双测头扫描数据拼接的工件转台误差分离的测量装置及方法，该装置在由测头系统(1)、横臂(2)、立柱(3)、配重(4)、标准平晶(5)、工件转台(6)和横臂转台(7)组成的摆臂式轮廓仪上采用两套测头系统(1、1′)同时进行扫描测量；两套测头系统扫描一次后得到两根扫描轨迹M1，以一定角度β旋转工作转台再进行一次扫描，得到另外两根扫描轨迹M2；本发明采用双测头扫描数据拼接的方法，可以有效地分离去除工件转台的运动误差对测量结果的影响，从而大大提高了测量精度，为摆臂式轮廓仪在光学加工现场的在位测量提供了实用化的解决方案。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 双测头 扫描 数据 拼接 工件 转台 误差 分离 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种基于双测头扫描数据拼接的工件转台误差分离的测量装置，其特征在于：在由测头系统(1)、横臂(2)、立柱(3)、配重(4)、标准平晶(5)、工件转台(6)和横臂转台(7)组成的摆臂式轮廓仪上采用两套测头系统(1、1′)同时进行扫描测量；两套测头系统扫描一次后得到两根扫描轨迹M1，以一定角度β旋转工作转台再进行一次扫描，得到另外两根扫描轨迹M2；对测量数据进行旋转和平移，实现数据拼接并有效分离去除工件转台(6)的运动误差对测量结果的影响。
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