[发明专利]硒化氢制造装置

摘要

本发明提供了一种硒化氢制造装置，其能够提高硒化氢的收率，能够连续制造高纯度的硒化氢。该硒化氢制造装置包括：用于向在由金属硒与氢气生成硒化氢的反应炉(11)内投入氢气的路径(12)和用于向该反应炉(11)内投入金属硒的路径(13)；将含有在反应炉内生成的硒化氢的反应气体引出的路径(14)；捕集反应气体中的硒化氢的硒化氢捕集器(15)；使将反应气体冷却而捕集金属硒的冷却操作与将氢气加热并使金属硒气化的加热操作进行切换的加热/冷却器(16a、16b)；具有吹扫路径(35a、35b)的金属硒投入容器(29)；以及将来自硒化氢捕集器内的反应气体引出，并使其返回到氢气投入路径中的气体循环路径(17)。

主权项

一种硒化氢制造装置，其特征在于，包括：反应炉，其在预先设定的加热温度下使原料金属硒与氢气接触，生成气态的硒化氢；氢气投入路径，其将上述氢气投入到该反应炉内；金属硒投入路径，其用于将上述金属硒投入到上述反应炉内；反应气体引出路径，其将含有在上述反应炉内生成的气态硒化氢的反应气体从反应炉内引出；硒化氢捕集器，其在预先设定的冷却温度下对引出到该反应气体引出路径内的反应气体中的上述硒化氢进行捕集；并且，该硒化氢制造装置包括多个交替地切换冷却操作和加热操作的加热/冷却器，上述冷却操作将被从上述反应炉向上述硒化氢捕集器引出的上述反应气体冷却，而使反应气体中含有的未反应的金属硒以及由所生成的硒化氢再分解而成的金属硒凝结，从而进行捕集，上述加热操作对从上述氢气投入路径向上述反应炉导入的氢气进行加热，并使上述冷却操作所捕集到的金属硒气化，从而使该气化的金属硒随同氢气一起投入到上述反应炉内；上述金属硒投入路径包括：金属硒投入容器、设于该金属硒投入容器与上述反应炉之间的投入路径开闭部件、以及用于置换上述金属硒投入容器内的气体的吹扫路径；上述硒化氢捕集器包括气体循环路径，将经上述硒化氢捕集器进行硒化氢的捕集之后的上述反应气体从硒化氢捕集器引出，经该气体循环路径返回到上述氢气投入路径内。