[发明专利]基板处理装置有效
| 申请号： | 201110416096.6 | 申请日： | 2011-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN102683251A | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 光吉一郎;柴田英树;古田智靖 | 申请（专利权）人： | 大日本网屏制造株式会社 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 董雅会;郭晓东 |
| 地址： | 日本京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及基板处理装置，在基板处理单元(11)和收纳器容置/搬运单元(7)间具有收纳器容置单元(9)，通过搬运机器手(19)在装载口(5)和保持架排列部(33)间搬运。通过搬运机器手(31)在保持架排列部(33)、保持架排列部(69)和载置部(27)间搬运。装载口(5)和保持架排列部(33)间的搬运与保持架排列部(69)、保持架排列部(33)和载置部(27)间的搬运能够大致并行地进行。因此，提高FOUP(3)的搬运效率，提高生产率。而且，在收纳器容置/搬运单元(7)和基板处理单元(11)间仅配置收纳器容置单元(9)，能够抑制装置尺寸增加，增加FOUP(3)的容置数量，能够实现装置的高生产率。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种基板处理装置，用于处理基板，其特征在于，该基板处理装置包括：基板处理单元，用于对基板进行处理，收纳器容置单元，与所述基板处理单元接近排列地设置，用于对收纳基板的收纳器进行容置，收纳器容置/搬运单元，与所述收纳器容置单元接近排列地设置，用于对收纳基板的所述收纳器进行容置及搬运，第1载置部，与所述收纳器容置/搬运单元接近排列地设置，用于载置所述收纳器；所述收纳器容置单元具有多个第1保持架，该多个第1保持架用于保持所述收纳器；所述收纳器容置/搬运单元具有：多个第2保持架，用于保持所述收纳器，第2载置部，配置在所述基板处理单元和所述多个第2保持架之间，用于载置所述收纳器，第1搬运部，在所述第1载置部和所述多个第2保持架之间搬运所述收纳器，第2搬运部，在所述多个第1保持架、所述多个第2保持架和所述第2载置部之间搬运所述收纳器。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
