[发明专利]一种紫外LED照明装置有效
| 申请号： | 201110416805.0 | 申请日： | 2011-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN103163739A | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 陈璐玲;张祥翔 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;F21V5/04;F21Y101/02 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种照明装置，其特征在于：包括位于同一光轴上的光源、耦合透镜、积分棒、中继透镜组、掩模板、物镜、基板；所述光源为至少一组LED阵列。其中，所述LED阵列组为一个LED阵列和一个耦合透镜。本发明的用于光刻投影光学系统的照明装置，结构简单，并能实现基板上较高的照度和较大的曝光视场。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 紫外 led 照明 装置 | ||
【主权项】：
一种照明装置，其特征在于：包括位于同一光轴上的光源、耦合透镜、积分棒、中继透镜组、掩模板、物镜、基板；所述光源为至少一个LED阵列组。
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