[发明专利]一种倾斜物体位置测量装置

摘要

本发明提供了一种倾斜物体位置测量装置，沿光路方向依次包括：用于产生均匀照明光的照明单元；垂直于所述照明光光轴的标记板；将所述标记板上的标记投影到与所述照明光光轴不相垂直的第一平面上不同位置处的标记调整单元；将经过所述标记调整单元的标记像投影至所述倾斜物体的被测面的投影成像单元，所述第一平面与所述被测面相对于所述投影成像单元物像共轭；接收所述被测面反射的标记像的接收成像单元，所述投影成像单元和所述接收成像单元为双远心结构；将所述接收成像单元所成的标记像调整到与所述照明光光轴垂直的第二平面上不同位置处的像方调整单元；和带有探测面的探测单元,所述第二平面上的标记像投影至所述探测面；所述被测面在物镜光轴方向上的位置变化，导致所述探测面上的标记像在所述探测面上产生相应的位置变化。

主权项

一种倾斜物体位置测量装置，沿光路方向依次包括：用于产生均匀照明光的照明单元；垂直于所述照明光光轴的标记板；将所述标记板上的标记投影到与所述照明光光轴不相垂直的第一平面上不同位置处的标记调整单元； 将经过所述标记调整单元的标记像投影至所述倾斜物体的被测面的投影成像单元，所述第一平面与所述被测面相对于所述投影成像单元物像共轭；接收所述被测面反射的标记像的接收成像单元，所述投影成像单元和所述接收成像单元为双远心结构；将所述接收成像单元所成的标记像调整到与所述照明光光轴垂直的第二平面上不同位置处的像方调整单元；和带有探测面的探测单元, 所述第二平面上的标记像投影至所述探测面；所述被测面在物镜光轴方向上的位置变化，导致所述探测面上的标记像在所述探测面上产生相应的位置变化。