[发明专利]有机小分子热蒸发坩埚组件无效
申请号: | 201110417162.1 | 申请日: | 2011-12-14 |
公开(公告)号: | CN102392218A | 公开(公告)日: | 2012-03-28 |
发明(设计)人: | 曹进;容佳玲;王立;张建华 | 申请(专利权)人: | 上海大学 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人: | 李仪萍 |
地址: | 200436*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一种有机小分子热蒸发坩埚组件,设置于外部加热丝之间加热,该坩埚组件包括坩埚本体(100)以及位于所述坩埚本体(100)上的盖板(101);所述盖板上设有若干出料孔(1011、1012),该坩埚组件还包括贯穿所述盖板的导热杆(102),该导热杆自所述盖板延伸至坩埚底部。本发明有效的解决了现有技术中因坩埚出料孔处受热不均匀,导致蒸发材料聚集和堵塞,影响有机材料蒸发速率控制的问题。 | ||
搜索关键词: | 有机 分子 蒸发 坩埚 组件 | ||
【主权项】:
一种有机小分子热蒸发坩埚组件,设置于外部加热丝之间加热,其特征在于,该坩埚组件包括坩埚本体(100)以及位于所述坩埚本体(100)上的盖板(101);所述盖板上设有若干出料孔(1011、1012),该坩埚组件还包括贯穿所述盖板的导热杆(102),该导热杆自所述盖板延伸至坩埚底部。
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