[发明专利]场效应管阈值电压漂移测量方法在审
| 申请号： | 201110417426.3 | 申请日： | 2011-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN102654556A | 公开（公告）日： | 2012-09-05 |
| 发明（设计）人： | 朱夏明;孙亮;郝昭慧;林承武;邵喜斌 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种场效应管阈值电压漂移测量方法，涉及场效应管电学特性测量技术领域，该方法包括步骤：在所述场效应管栅极施加恒定栅偏压Vstress一段时间后，不撤去Vstress，对栅极和漏极分别施加测量信号Vgm和Vdm，得到漏极电流-栅极电压转移特性曲线；将所述转移特性曲线与未加栅偏压Vstress时分别对栅极和漏极施加测量信号Vgm和Vdm测得的初始转移特性曲线比较得到所述场效应管的阈值电压漂移值。本发明减小了测量过程中外加测量信号对场效应管电学特性的影响，能准确地测量场效应管在栅偏压作用下的阈值电压漂移特性。 | ||
| 搜索关键词： | 场效应 阈值 电压 漂移 测量方法 | ||
【主权项】：
一种场效应管阈值电压漂移测量方法，其特征在于，在所述场效应管栅极施加恒定栅偏压Vstress一段时间后，不撤去Vstress，对栅极和漏极分别施加测量信号Vgm和Vdm，得到漏极电流‑栅极电压转移特性曲线；将所述转移特性曲线与未加栅偏压Vstress时分别对栅极和漏极施加测量信号Vgm和Vdm测得的初始转移特性曲线比较得到所述场效应管的阈值电压漂移值。
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