[发明专利]一种用于深紫外波段的全球面折反式准直物镜

摘要

本发明提供一种用于深紫外波段的全球面折反式准直物镜，包括耦合镜组G1、折反镜组G2、准直镜组G3以及孔径光阑；所述折反镜组G2包括第四镜片L4及第五镜片L5，第四镜片L4和第五镜片L5之间距离的取值范围为49～53mm；上述各部件沿光束入射方向的顺序关系为：耦合镜组G1、第四镜片L4、孔径光阑、第五镜片L5以及准直镜组G3，且所述各部件的中心在同一直线上。本发明在第四镜片L4和第五镜片L5之间采用折反式全球面的结构设计，在反射面上分配较大的光焦度，大大降低了对激光器光源带宽的要求，使得本发明与高数值孔径光刻投影物镜和波前像差传感器配合使用，可实现高数值孔径光刻投影物镜波像差的检测。

主权项

一种用于深紫外波段的全球面折反式准直物镜，其特征在于：包括耦合镜组G1、折反镜组G2、准直镜组G3以及孔径光阑；所述折反镜组G2包括第四镜片L4及第五镜片L5，第四镜片L4和第五镜片L5之间距离的取值范围为49～53mm；上述各部件沿光束入射方向的顺序关系为：耦合镜组G1、第四镜片L4、孔径光阑、第五镜片L5以及准直镜组G3，且所述各部件的中心在同一直线上；所述第四镜片L4的后表面为平面，前表面的中心区域为镀有高反膜HR的凸面反射面，前表面的外环边缘区域为镀有抗反膜AR的平面透射面；第四镜片L4前表面的中心区域为直径等于φ4的圆，其中5mm＜φ4＜8mm，第四镜片上凸面反射面的曲率半径的取值范围为12mm～18mm；所述第五镜片L5为弯月负透镜，其厚度的取值范围为8～15mm；前表面为凹面，其曲率半径的取值范围为65～70mm，且前表面镀有抗反膜AR；后表面为凸面，其曲率半径的取值范围为80～88mm，后表面中心区域为镀有抗反膜AR的透射面，外环边缘区域为镀有高反膜HR的反射面；第五镜片L5后表面中心区域为直径等于φ5的圆，其中2mm＜φ5＜20mm。