[发明专利]一种源气隔离的固态源原子层沉积装置和方法

摘要

本发明提供一种源气隔离的固态源原子层沉积装置和方法，前驱体源料提供系统，包括多个并联的前驱体源料支路，前驱体源料支路包括管路和前驱体源料容器，前驱体源料容器分为上下两部分，下部为存放固态前驱体源料的固态源容器，上部为气态前躯体存储的气态源容器，其中间设置有控制两者联通与断开的阀门，气态源容器两端设有脉冲执行器，固态源容器上设置有加热装置，各前驱体源料支路上设置有阀门，在一端汇集成前驱体源料总路后与吹扫气输送系统连接至反应腔体系统，反应腔体系统通过真空控制阀连接至真空泵，前驱体源料支路另一端连接至载气系统。

主权项

一种源气隔离的固态源原子层沉积装置，其特征在于： 前驱体源料提供系统，包括多个并联的前驱体源料支路，前驱体源料支路包括管路和前驱体源料容器，前驱体源料容器分为上下两部分，下部为存放固态前驱体源料的固态源容器，上部为气态前躯体存储的气态源容器，其中间设置有控制两者联通与断开的阀门，气态源容器两端设有脉冲执行器，固态源容器上设置有加热装置，各前驱体源料支路上设置有脉冲执行器，在一端汇集成前驱体源料总路后与吹扫气输送系统连接至反应腔体系统，反应腔体系统通过真空控制阀连接至真空泵，前驱体源料支路另一端连接至载气系统。