[发明专利]一种MEMS加速度开关无效
| 申请号： | 201110419225.7 | 申请日： | 2011-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN102522262A | 公开（公告）日： | 2012-06-27 |
| 发明（设计）人： | 徐栋;郭群英;黄斌;方澍;陈璞;王文婧 | 申请（专利权）人： | 华东光电集成器件研究所 |
| 主分类号： | H01H35/14 | 分类号： | H01H35/14 |
| 代理公司： | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113 | 代理人： | 杨晋弘 |
| 地址： | 233042 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种MEMS加速度开关，由衬底（5）、硅框架（8）、弧形悬臂梁（1）、环形质量块（2）、碰撞柱（3）、环形接触电极（4）和硅盖帽（7）组成。硅框架固定在衬底上，中心设有圆孔；碰撞柱位于硅框架中心，固定在衬底上；硅框架圆孔上均布一组悬空的弧形悬臂梁，弧形悬臂梁的端部与环形质量块连接；环形质量块与碰撞柱同心并具有一定的间隙；环形接触电极位于环形质量块下方并固定在衬底上。本发明采用环形碰撞结构，可以实现平面任意方向及垂直水平面方向等多个方向上信号检测，同时采用环形结构设计，提高了开关的抗高冲击能力。本发明具有结构精巧、加工工艺简单、便于批量制作等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 加速度 开关 | ||
【主权项】：
一种MEMS加速度开关，其特征在于由衬底（5）、硅框架（8）、一组悬臂梁（1）、环形质量块（2）、碰撞柱（3）、环形接触电极（4）和盖帽（7）组成；硅框架（8）中心设有圆孔、并通过MEMS工艺固定在衬底（5）上；每个悬臂梁（1）的一端连接在硅框架圆孔的内侧并处于悬空状态；每个悬臂梁（1）的另一端连接于环形质量块（2）上，使环形质量块（2）悬空在衬底（5）上，并处于硅框架圆孔中；碰撞柱（3）固定在硅框架中心的衬底（5）上，碰撞柱（3）和环形质量块（2）同圆心、并具有3微米～20微米的环形间隙；环形接触电极（4）固定在环形质量块（2）下方的衬底上、和环形质量块在有一定间隙；在硅框架（8）上及碰撞柱（3）设有引出电极（6），盖帽（7）把一组悬臂梁和环形质量块封闭起来，盖帽上设有引出电极（6）的引出孔。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华东光电集成器件研究所，未经华东光电集成器件研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110419225.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
