[发明专利]一种微纳尺度粉体保护层包裹装置和方法

摘要

本发明提供一种微纳尺度粉体保护层包裹装置和方法，装置包括真空系统、反应腔体系统、前驱体脉冲系统、加热系统、载气输送系统、控制系统，前驱体脉冲系统连接反应腔体系统，反应腔体系统连接真空系统，在前驱体脉冲系统与反应腔体系统的连接通路上连接有载气输送系统，加热系统包括设置在前述系统装置上的加热装置。一种微纳尺度粉体保护层包裹方法，在一定温度下，采用ALD技术在真空反应腔体内对微纳尺度的粉体进行保护层包裹，盛装粉体的内腔体在端面具有微米级孔，通过脉冲执行器使得前驱体源料通过载气交替进入反应腔体系统，并利用载气清扫多余的前驱体源料及反应副产物，从而得到所需的具有保护层包裹的微纳尺度粉体。

主权项

一种微纳尺度粉体保护层包裹装置，其特征在于：包括真空系统、反应腔体系统、前驱体脉冲系统、加热系统、载气输送系统、控制系统，前驱体脉冲系统连接反应腔体系统，反应腔体系统连接真空系统，在前驱体脉冲系统与反应腔体系统的连接通路上连接有载气输送系统，加热系统包括设置在前述系统装置上的加热装置。