[发明专利]一种新型酸性钼铝钼蚀刻液及其制备工艺有效
| 申请号： | 201110420806.2 | 申请日： | 2011-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN103255417A | 公开（公告）日： | 2013-08-21 |
| 发明（设计）人： | 戈士勇;沈翠芬;盛建伟;袁晓蕾 | 申请（专利权）人： | 江阴润玛电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/26 | 分类号： | C23F1/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214423 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型酸性钼铝钼蚀刻液以及其制备工艺。该新型酸性钼铝钼蚀刻液包括磷酸、醋酸、硝酸、金属硝酸盐、阳离子表面活性剂和纯水。该蚀刻液制备工艺包括常温常压下保持配料罐搅拌器转速，向配料罐中依次加入磷酸、醋酸、硝酸、硝酸钾、纯水和阳离子表面活性剂，充分搅拌后通入过滤器过滤制成钼铝钼蚀刻液。本发明中的钼铝钼蚀刻液颗粒度小，纯度高，对不同金属的蚀刻速度基本一致，反应稳定；调整硝酸的浓度，使蚀刻速度可控；使用该蚀刻液蚀刻后的基板表面整洁，无残留，无金属间分层现象，剩余线条平整，蚀刻角度保持在40～60°之间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 酸性 钼铝钼 蚀刻 及其 制备 工艺 | ||
【主权项】：
一种新型酸性钼铝钼蚀刻液，其特征在于，所述钼铝钼蚀刻液包括磷酸、醋酸、硝酸、阳离子表面活性剂、金属硝酸盐和纯水，所述钼铝钼蚀刻液的原料重量百分比分别为：磷酸60％～75％、醋酸5％～15％、硝酸1％～10％、金属硝酸盐0.1％～2％、阳离子表面活性剂0.001％～0.5％、其余为纯水。
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